GK-120

全自动曝光机

该机型可按照二极管芯片厂家需求定制，满足4、5、6英寸Wafer的一次曝光

GK-150

全自动曝光机

矽电全新推出的全自动曝光机，可按照二极管芯片厂家工艺设计需求进行定制，满足4、5、6英寸晶圆在同一机台上进行一、二、三次光刻的工艺处理需求。批量自动化设计，配备输入、输出料盒各四个；双工位并行满足曝光和对准上片同步 进行。