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全自动晶圆光学镜检机
AS-20
全自动晶圆光学镜检机
适用于切割前/切割后的晶圆缺陷检测，高运动精度，高检测精度，高运行算力
AS-20
全自动晶圆光学镜检机
适用于 Wafer/Frame 的外观缺陷检测。配置先进的光学系统，搭载多道光组合检测，结合 AI 算法检测模型，可以精确识别晶圆表面常见缺陷。分布式计算系统为检测提供超高算力。
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