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PT-930
PT-930
国内首款应用于工业化领域的高精度、高刚性、高效率的12英寸全自动探针台
独特吸附技术,解决Taiko\超薄\翘曲晶圆片无损自动上下料传输测试
一体化设计的高精度运动平台,高精度、高稳定性、低震动
可满足2000根探针测试,可用于多芯同测,提升产能效益
精密光学模组及先进的图像算法实现自动对准、自动对针
适配不同品牌型号的测试系统Hard Docking/Direct Docking/Cable测试
CHUCK模块化设计,选配、更换更加便捷
支持工厂天车自动化对接
应用领域
支持数字混合/SOC、汽车电子/电源产品、CIS/MEMS等类型芯片测试,可适用于8英寸、12英寸的晶圆测试
测试应用
高温测试
坏点重测
先进封装测试
RF射频测试
高压测试
大电流测试
高低温测试
WAT测试
主要功能
MAP图实时显示、存储产品
料盒RFID自动读取
晶圆厚度自动检测功能
针痕检测功能
自动换卡功能
自动对针功能
针痕检测功能
自动打点
自动晶圆对准功能
自动清针功能
晶圆ID自动读取
特殊应用
无Notch预对准
遮光处理
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适用于5~8英寸集成电路晶圆的自动探针测试。整机特别针对集成电路多芯多探针及高定位精度的测试需求进行设计,可以满足2000根探针以下的单芯或多芯测试,配备全自动上下片系统,具有高精度、高刚性,高稳定性的特点;自动对针提高了对准精度,方便客户多针、多芯测试需要
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适用于4~8英寸半导体集成电路、分立器件晶圆的全自动探针测试。配备有高可靠性自动上下片系统,高精度CCD视觉定位系统,自动化程度高。更具有薄片传输能力,应用面广,尤其满足大功率分立器件(IGBT、MOSFET)测试