对准位与测试位重合，保证综合精度长期稳定；
兼容wafer及frame铁环传输测试；
高刚性Z工作台；
双机械臂传输自动上下料系统；
支持各类型测试系统Hard Docking/Direct Docking/Cable测试；
精密光学模组及先进的图像算法实现自动对准、自动对针；
支持Wafer ID读取（正面/背面可选）；
配置磨针台自动磨针，毛刷清针可选；
具有多Bin分类显示Mapping功能，方便分析圆片参数分布状况
支持8" /12"Wafer预对准以及2-8-1,2-12-1铁环自动对准
支持8"/ 12"Wafer以及2-8-1, 2-12-1铁环传输；
支持12” FOUP/12”OPEN/8”OPEN， 13槽12”Metal Frame Cassette，25槽8"Metal Frame Cassette 多种规格料盒以及对应产品；
支持工厂天车自动化对接；
中文式界面，操作使用直观易理解；