精密光学模组及先进的图像算法实现自动对准、自动对针;
支持不同测试系统的圆卡及方卡Cable连线测试;
测试区域编辑划定,可以提高效率只测试所圈定的芯粒
Mapping功能,可以实现测后打点或脱机打点
抽测功能,可实现圆片上不等距步进,任意点测试
具有多Bin分类显示Mapping功能,方便分析圆片参数分布状况
配置磨针台自动磨针;
中文式界面,操作使用直观易理解;
可满足1000根探针测试,可用于多芯同时探测,提升产能效益
独特机械手吸附技术,解决Taiko\超薄\翘曲等晶圆片无损自动上下料传输
CHUCK模块化设计,选配、更换更加便捷