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GK-120
GK-120
全自动曝光机
全自动设计,满足一次可放置4个输入料盒和4个输出料盒;
双工位转盘设计,满足曝光和对准上片同时进行
具备自适应调平功能
通过气压控制掩膜板与芯片的贴合压力
自动快捷地定位芯片圆心、定位芯片切边
机型说明
该机型可按照二极管芯片厂家需求定制,满足4、5、6英寸Wafer的一次曝光
应用领域
晶圆片接触式曝光
产品特点
全自动芯片曝光
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